超纯水部分包括：抛光混床、脱气膜、TOC—UV、UV杀菌机、绝dui过滤器等设备(在电子领域较多采用)

　　TOC;UV装置，采用峰值为185nm波长的紫外灯，通过高剂量的UV一185紫外催化，在水中产生。0H翔基自由基，对水中的有机物进行氧化降解，以达到降低水中TOC的含量。特点：绿色、环保、稳定、高效、安全。

　　UV杀菌装置，采用峰值为254nm渡长的紫外灯，能有效糸灭冠状病毒、衣原体、支原体、立刻次式体、细菌、真苗、芽孢等有害微生物。系菌灭藻率可达99.99％一100％。